電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；
采用智能壓力調控，壓力波動小；
全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
多通道工氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；
可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時間短，生產效率高；
適于工藝氣氛：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
| 參數(shù)\型號 | VCVD-0305-C | VCVD-0505-C | VCVD-0608-C | VCVD-0612-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1218-C | VCVD-1520-C |
| 工作區(qū)尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
| 最高溫度（℃） | 2000/2300 | |||||||
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±5 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | |||||||
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | |||||||
| 加熱方式 | 電阻/感應 | |||||||
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術方案和協(xié)議為準。
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